MDA-60MS

  • MDA-60MS

  • MDA-60MS(Mask Aligner) 는 Z- axis 모션이 모터로 동작하고 당사에서 개발한 비전 프로그램을 사용했으며, 최대 6인치 시료까지 공정이 가능합니다.
    콤팩트한 장비 사이즈에 방진메커니즘이 기본장착 되어있어, 주로 학교 ,연구소 및 기업체의 준 양산 용으로 적합합니다.
Photo-litho / Mask Aligner / Manual - MDA-60MS
  • 사양
Type PC control semi auto
Mask size up to 7" x 7"
Substrate size piece to 6" x 6"
UV lamp & Power 1kW & power supply
Uniform beam size 7.25" x 7.25"
Beam Uniformity <±5%
Beam wavelength 350 ~ 450nm
365nm Intensity 15 ~ 25mW/cm2
Alignment accuracy 1um
Process resolution 1um@1um PR thickness with vacuum contact
Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity
Substrate chuck moving x,y(Manual), z, θ (Motorized)
Options CCD BSA
UV Intensity meter
etc.
Frame Anti vibration table
Easy operation & Installation
PC Operation with PLC control
Image grab & Data log
More than 100 Program recipes
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