MDA-80SA

  • MDA-80SA

  • MDA-80SA(Mask Aligner) 는 세미 오토 모델로 조이스틱으로 스테이지를 제어 하는 방식으로 최대 8인치 시료의 공정이 가능하며, 연구소 및 기업체의 준 양산 / 양산 용으로 적합합니다.
Photo-litho / Mask Aligner / Manual - MDA-80SA
  • 사양
Type Joystick control Semi-Auto (Mask Aligner)
Mask size up to 9" x 9"
Substrate size piece to 8" x 8"
UV lamp & Power 2kW & power supply
Uniform beam size 10.25" x 10.25"
Beam Uniformity <±3~5%
Beam wavelength 350 ~ 450nm
365nm Intensity 15 ~ 25mW/cm2
Alignment accuracy 1um
Process resolution 1um@1um PR thickness with vacuum contact
Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity
Substrate chuck moving x,y,z & θ (Motorized)
Frame Anti-Vibration system
Options CCD BSA
UV Intensity meter
etc.
Easy operation UI
PC Operation with PLC control
Image grab & Data log
More than 100 Program recipes
Motorized joystick control
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