MDA-150 (M)

  • MDA-150 (M)

  • MDA-150(Mask Aligner) 은 사용자의 용도에 따라 여러 가지 타입의 장비를 선택할 수 있는 맞춤 제작이 가능한 특징을 가지고 있는 마스크 얼라이너로, 조각부터 최대 6인치 시료까지 공정이 가능하여, 주로 학교 연구실 및 연구소 또는 기업체의 준 양산 까지 포괄적인 사용이 가능합니다.
Photo-litho / Mask Aligner / Manual - MDA-150 (M)
  • 사양
Type Manual (Mask Aligner)
Mask size up to 7" x 7"
Substrate size piece to 6"
UV lamp & Power 500W, 1kW & Digital power supply
Uniform beam size 6.25" x 6.25
Beam Uniformity <±5%
Beam wavelength 350 ~ 450nm
365nm Intensity ~50mW/cm2
Alignment accuracy 1um
Process resolution 1um@1um PR thickness with vacuum contact
Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity
Substrate chuck moving x,y,z & θ (motorized)
Options CCD BSA
Easy operation UI
PC Operation with PLC control
Image grab & Data log
More than 100 Program recipes
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