MDA-20000SA

  • MDA-20000SA

  • MDA-20000SA(Mask Aligner) 는 대면적 공정에
    특화된 장비로 Film이나 Glass 뿐만 아니라,
    다양한 종류의 대면적 기판을 사용 할 수 있고, 사용자의 필요에 따라 맞춤 제작 가능합니다.
Photo-litho / Mask Aligner / Manual - MDA-20000SA
  • 사양
Type Joystick control Semi-Auto (Mask Aligner)
Mask size up to 610 x 610 (User spec.)
Substrate size 500 x 500 (User spec.)
UV lamp & Power 2kW & power supply
5kW & Power supply
Uniform beam size 600 x 600 (User spec.)
Beam Uniformity <±7%
Beam wavelength 350 ~ 450nm
Process mode Soft, Hard contact & Proximity
Substrate chuck moving x,y,z & θ (Motorized)
Frame Anti-Vibration system
Options UV Intensity meter
etc.
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