Product

  • MDA-400M

  • MDA-400M(Mask Aligner) 은 합리적인 가격에 높은 성능을 발휘하는 매뉴얼 방식의 마스크 얼라이너로써, 조각부터 최대4인치 시료까지 공정이 가능하고, 장비의 사이즈가 작고 간편한 조작이 특징이며, 주로 학교 연구실 용으로 적합합니다.
Photo-litho / Mask Aligner / Manual - MDA-400M
  • 사양
Type Fully manual (Mask Aligner)
Mask size up to 5" x 5"
Substrate size piece to 4" dia
UV lamp & Power 350W & power supply
Uniform beam size 4.25" x 4.25"
Beam Uniformity <±3%
Beam wavelength 350 ~ 450nm
365nm Intensity ~30mW/cm2
Alignment accuracy 1um
Process resolution 1um@1um PR thickness with vacuum contact
Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity
Substrate chuck moving x,y,z & θ
Options Anti-Vibration table
UV Intensity meter
etc.
Easy operation & Installation
Handling Substrates of Various sizes
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