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  • MDA-400S

  • MDA-400S(Mask Aligner) 는 합리적인 가격대 제품군으로 PC / PLC 제어방식의 레벨링 시스템이 적용된 마스크 얼라이너로써, 최대 6인치 시료까지 공정이 가능하고, 작은 사이즈에 방진메커니즘이 기본 장착 되어 있으며, 주로 학교, 연구소 용으로 적합합니다.
Photo-litho / Mask Aligner / Manual - MDA-400S
  • 사양
Type PC / PLC control Manual (Mask Aligner)
Mask size up to 7" x 7"
Substrate size piece to 6"
UV lamp & Power 350W & power supply
Uniform beam size 6.25" x 6.25"
Beam Uniformity <±5%
Beam wavelength 350 ~ 450nm
365nm Intensity ~25mW/cm2
Alignment accuracy 1um
Process resolution 1um@1um PR thickness with vacuum contact
Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity
Substrate chuck moving x,y,z & θ
Options Anti-Vibration table
IR BSA
UV Intensity meter
etc.
Easy operation & Installation
Handling Substrates of Various sizes
PLC control with Touch screen panel
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