Product

  • MDA-400LJ

  • MDA-400LJ(Mask Aligner) 는 경제적인 가격의 제품이며, 광원을 수은램프가 아닌 UV LED(365nm) 사용함으로써 램프 교체가 필요 없는 모델로 조각 부터 최대4인치 시료까지 공정이 가능하며, 장비의 사이즈가 작고 간편한 조작이 특징이며, 주로 학교 연구실 용으로 적합합니다.
Photo-litho / Mask Aligner / Manual - MDA-400LJ
  • 사양
Type Fully manual (Mask Aligner)
Mask size up to 5" x 5"
Substrate size piece to 4" dia
UV lamp & Power UV-LED & power supply
Uniform beam size 125mm dia
Beam Uniformity <±3%
Beam wavelength 365nm Only
365nm Intensity ~20mW/cm2
Alignment accuracy 1um
Process resolution 1um@1um PR thickness with vacuum contact
Process mode Soft, Hard, Vacuum contact & Proximity
Substrate chuck moving x,y,z & θ
Options etc.
Easy operation & Installation
Handling Substrates of Various sizes
Adopt UV-LED exposure module
UV-LED Life-time is more than 2 years
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